半导体行业隶属于电子信息产业,激光技术和加工工艺在半导体行业中的应用,有效推动了半导体行业的发展。激光在半导体行业中可用于激光解键合、晶圆激光Dicing、激光退火、激光打标、激光Flip Chip、PLP Laser Repair。
紫外二极管泵浦固体(DPSS)激光器在半导体行业中的主要应用为在LED晶圆划片。DPSS激光器系统广泛应用于微加工、表面处理与材料加工等领域。DPSS激光器可对蓝宝石、硅片、III-V族半导体、III族氮化物、陶瓷、塑料、金属材料进行加工。
准分子激光器在半导体行业中的应用主要为2D图形成形、3D微加工、MEMS微加工、LED激光剥离、紫外激光光刻和TFT平板激光退火。
光纤激光器和DPSS激光器在半导体行业的中的应用主要为薄膜太阳能电池划片。
激光为半导体行业提供了有效的解决方案,激光在半导体行业中的应用将有效提高半导体行业的生产品质和产量。